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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
USHIO牛尾 布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機(jī)”
USHIO牛尾 布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機(jī)”
詳情介紹：
****次用燈方式的真空紫外平行光。
真空紫外光的親水化圖案化方式比以前的リソグラフィープロセス相比大幅縮短工序，實(shí)現(xiàn)共同印刷方式不能得到的微細(xì)圖案形成實(shí)現(xiàn)了。有機(jī)晶體管，ウェアラブルセンサー，生物設(shè)備等新領(lǐng)域的實(shí)現(xiàn)道路就會(huì)打開。此外，新開發(fā)的高亮度脈沖光源（PAT申請(qǐng)中）的平行光化，L / S = 5 / 5μm以下※的解像性能，實(shí)現(xiàn)。大面積化的咨詢也請(qǐng)咨詢
※使用抗蝕劑：東京応化工業(yè)株式會(huì)社制：TArF - P 6111（膜厚260納米）
固化、粘接
リソ?パターニング
改性分解
清洗
**、除臭
MEMS·電子部件
半導(dǎo)體
液晶顯示器
基板·PKG
汽車船舶
生物化學(xué)
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