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作為紫外線照射裝置，用LSI制造生產(chǎn)線被采用的紫外線霍城。超高壓UV油燈，準(zhǔn)分子燈，并搭載干式蝕刻時的耐等離子性的提高，離子注入時的抗蝕劑脫氣和烤關(guān)，電荷消去，今年翠花邊，Low - k硬化等，各種各樣的用途被活用。
固化、粘接
改性分解
清洗
光化學(xué)
半導(dǎo)體

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產(chǎn)品名稱：USHIO牛尾 紫外硬化裝置“單硬”

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