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產品名稱：SIMCO思美高超潔凈工藝設備型靜態(tài)欄
產品型號：超潔凈工藝設備型號5225 AeroBar
產品廠商：SIMCO思美高
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簡單介紹：

廠家直銷 SIMCO思美高超潔凈工藝設備型號5225 AeroBar 思美高靜態(tài)欄 5225型Aerober離子發(fā)生器是一種棒式離子發(fā)生器，專門設計用于半導體等超潔凈工藝設備。廠家直銷 SIMCO思美高超潔凈工藝設備型號5225 AeroBar 思美高靜態(tài)欄 SIMCO思美高超潔凈工藝設備型靜態(tài)欄 SIMCO思美高超潔凈工藝設備型靜態(tài)欄

詳情介紹：

特點

在全球范圍內具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導致金屬污染的風險
通過脈沖DC方法實現廣泛的靜電消除能力
由全數字電路控制，更穩(wěn)定的離子產生和長離子平衡
通過安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當在中和目標的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內置傳感器是離子平衡自動調整）
設置與半導體前端EFEM對應的長度條
可以在很寬的范圍內設置離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時間，報警閾值等各種參數，實現靈活的通信，如長距離應用和弱氣流環(huán)境
僅通過輸入參數的數值就可以獲得高重復性，并且可以在短時間內設置
除了簡單的報警IO之外，還可以通過免費DLL使用進行實時監(jiān)控，有助于掌握過程設備中的狀態(tài)

規(guī)范

5225型AeroBar

輸入電壓	24 V AC，50/60 Hz，1 W Typ。由IM6T提供。
溝通形式	RS485（IM6T和5225之間）
輸出電壓	0 kv至約+/- 20 kv
輸出表格	脈沖直流模式，穩(wěn)態(tài)直流模式（可選）
輸出電流	<15 micro A內置電流和電壓限制電路
接頭連接器	RJ 11,4極4芯
離子發(fā)生時間	小0.1秒，長10秒可單獨設置正負
電極	單晶硅電極可更換
臭氧產生量	<0.005 ppm（24小時綜合測量）
清潔度相應	ISO Class 1,0.1微米
維	高53 mm x深31 mm x長569 mm（-22），721 mm（-28），
	907毫米（-36），1128毫米（-44），1412毫米（-56），1636毫米（-64），
	1918毫米（-76）和2144毫米（-84）
重量	-22：每增加一個長度1.02千克/0.17千克/ 30厘米
外觀	ABS樹脂

接口模塊型號5200-IM6T

輸入電壓	24 V DC +/- 5％，1.5 A.
溝通形式	以太網，RS232C
報警輸出	中繼聯系（僅適用于4.0或更高版本）
維	高74毫米x深71毫米x長315毫米
重量	2公斤

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產品名稱：SIMCO思美高 超潔凈工藝設備型靜態(tài)欄

特點

規(guī)范

產品名稱：SIMCO思美高超潔凈工藝設備型靜態(tài)欄