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●從承運(yùn)人一個(gè)接一個(gè)地拾取和轉(zhuǎn)移晶圓。
●它還支持從載體到載體以及載體內(nèi)的移動(dòng)。
●節(jié)省空間的桌面型
●非真空系統(tǒng)
●支持TAIKO工藝的晶圓傳輸。
●在傳輸之前執(zhí)行映射，并讀取正確的晶圓位置。
（或者，晶片被設(shè)定為正確的職業(yè)，或不移位的檢查。）
●將替換檢查是否存在剩余晶片也可用于載流子
對(duì)應(yīng)于●200毫米（SPP200）或150毫米（SPP150）
●PWP（晶片搬送塵埃）<10@0.2 um
●載體和晶圓的ESD保護(hù)
●選項(xiàng)（MEMS晶圓的長邊接觸指）

規(guī)范

電源	AC 100/240 V，50/60 Hz
目前的能力	2 A.
外部尺寸	SPP 150：856（長）x 677（寬）×645（高）mm SPP 200：856（長）×677（寬）×645（高）mm

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產(chǎn)品名稱：重慶直供HUGLE藤宮晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)成都及西南區(qū)客戶共享資源

晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)SPP 200 / SPP 150

產(chǎn)品概述

規(guī)范