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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:日本SIMCO思美高4214 型離子發(fā)生器

    • 產(chǎn)品型號:在線離子發(fā)生器
    • 產(chǎn)品廠商:SIMCO思美高
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    4214 型離子發(fā)生器即使在高純度 N2 環(huán)境中也支持“擴(kuò)展 ISO 1 級,10nm”的高清潔度,并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。
    詳情介紹:

    特征

    支持超低粒子 使用單晶硅電極。
    獨(dú)特的不向外部排放顆粒的清潔機(jī)制,確保長期穩(wěn)定的清潔水平
    使用無需任何調(diào)整的智能控制電路
    內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)測離子產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
    控制器、電源 內(nèi)置集成緊湊型設(shè)計(jì)
    自動高壓關(guān)閉功能,在低流量下保護(hù)產(chǎn)品 適用于先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用
    24V DC 驅(qū)動

    規(guī)格

    輸入電壓 24V DC+/-5% 6W 典型值。
    離子平衡 <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接
    靜電消除時(shí)間 <10 秒 150 毫米距離 40LPM 無管道
    +/-1kv → +/- 100v 通過充電板監(jiān)視器
    離子發(fā)生法 電暈放電型 高頻交流方式
    清潔度 ISO Class1,0.1 微米
    “擴(kuò)展 ISO Class1,10nm”*
    電極 單晶硅可更換
    相應(yīng)的吹掃氣體 N2 > 99.998%
    流量 40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa)
    *大吹掃壓力 207Kpa (=100LPM 流量)
    *高氣體溫度 60攝氏度
    N2 吹掃連接 世偉洛克 3/8" 外徑管道
    電離 N2 連接
    世偉洛克 1/2" OD 管道連接 ,帶 1/4NPT 內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
    工作溫度限制 15至60攝氏度
    信號輸出 開/關(guān)觸點(diǎn)處的警報(bào)和低離子輸出
    尺寸 長 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm
    不包括管道
    重量 640克
    外部的 不銹鋼
    安裝方式 背面M5螺絲 螺絲長度必須小于10mm
    擴(kuò)展的 ISO 1 級,10nm
    是 ION Systems **定義的清潔度定義,以支持細(xì)顆粒物管理。ISO14644-1 定義*小粒徑為 100nm。擴(kuò)展 ISO 等級 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數(shù)計(jì)算公式,對于 10nm 或更大的晶粒尺寸,允許的顆粒數(shù)為 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。
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