準(zhǔn)分子燈/準(zhǔn)分子光照射裝置

•  是否有必要使用陰影？

•  為什么N2需要99.99％或更高的純度？

  在N2純度低的情況下，燈罩內(nèi)的氧濃度和臭氧濃度將升高。結(jié)果，它導(dǎo)致輻射發(fā)散強度的降低，鏡子的損壞以及由于燈劣化導(dǎo)致的低壽命。

•  臭氧排氣怎么辦？

  通常在牽伸機(jī)中使用·從管道排出并使用它。請根據(jù)規(guī)格值指定值排氣。另外，請以同樣的方式吹掃吹掃氣體。
  如果您在使用排氣設(shè)備時遇到問題，也可以為排氣裝置提供臭氧過濾器。在這種情況下，排氣可以通過帶有臭氧過濾器的排氣裝置釋放到大氣中。
  有關(guān)詳細(xì)信息，請參閱有關(guān)此安裝的說明

•  即使在空氣中也能獲得清潔效果嗎？

  清潔能力取決于到達(dá)照射對象的照射強度和照射對象表面上的活性氧濃度。如果您采取過多的GAP，光線將無法到達(dá)被照射的物體，并且無法進(jìn)行清潔。GAP和輻照強度之間的相關(guān)圖將在下一頁介紹。
  

•  什么是至佳氧氣氛/間隙？

  由于準(zhǔn)分子的清潔效果影響被照射材料的材料，因此需要找到適合于該材料的至佳參數(shù)。有關(guān)清潔玻璃基板的參數(shù)，請?zhí)峁┫嚓P(guān)信息。

  

•  我該如何評估清潔？

  通常使用水滴測量水和材料的接觸角。簡單地檢查時，還有一種通過呼氣來判斷陰霾狀態(tài)或使用Daiyinpen來判斷的方法。如果你想在不滿足上述測量的情況下判斷原子水平，有些情況下使用XPS。