特點(diǎn)

• 在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
• 通過(guò)脈沖DC方法實(shí)現(xiàn)廣泛的靜電消除能力
• 由全數(shù)字電路控制，更穩(wěn)定的離子產(chǎn)生和長(zhǎng)離子平衡
• 通過(guò)安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標(biāo)（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當(dāng)在中和目標(biāo)的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內(nèi)置傳感器是離子平衡自動(dòng)調(diào)整）
• 設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
• 可以在很寬的范圍內(nèi)設(shè)置離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時(shí)間，報(bào)警閾值等各種參數(shù)，實(shí)現(xiàn)靈活的通信，如長(zhǎng)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
• 僅通過(guò)輸入?yún)?shù)的數(shù)值就可以獲得高重復(fù)性，并且可以在短時(shí)間內(nèi)設(shè)置
• 除了簡(jiǎn)單的報(bào)警IO之外，還可以通過(guò)免費(fèi)DLL使用進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，有助于掌握過(guò)程設(shè)備中的狀態(tài)

規(guī)范