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廠家直銷 SIMCO思美高內(nèi)聯(lián)N 2離子發(fā)生器模型思美高內(nèi)聯(lián)電離器即使在高純度N 2環(huán)境中，4214型離子發(fā)生器也支持“擴(kuò)展ISO 1級(jí)，10 nm”的高潔凈度，并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。廠家直銷 SIMCO思美高內(nèi)聯(lián)N 2離子發(fā)生器模型思美高內(nèi)聯(lián)電離器

詳情介紹：

特點(diǎn)

采用超低粒子單晶硅電極。
通過獨(dú)特的清潔機(jī)制確保穩(wěn)定的長期清潔，不會(huì)將顆粒釋放到外面
采用不需要任何調(diào)整的智能控制電路
通過內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)控離子發(fā)生，實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
集成的緊湊型設(shè)計(jì)，內(nèi)置控制器和電源
自動(dòng)高壓切斷功能可在低流速下保護(hù)產(chǎn)品
適用于超低粒子應(yīng)用，如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝
24 V DC驅(qū)動(dòng)器

規(guī)范

輸入電壓	24 V DC +/- 5％6 W Typ。
離子平衡	<+/- 25 V 150 mm距離40 LPM無管道連接
靜電消除時(shí)間	<10秒150 mm距離40 LPM無管道連接 +/- 1 kv→+/- 100 v取決于帶電的印版監(jiān)視器
離子發(fā)生方法	電暈放電型高頻交流系統(tǒng)
清潔度	ISO Class 1,0.1微米“擴(kuò)展ISO Class 1,10 nm”*
電極	單晶硅可交換
相應(yīng)的吹掃氣體	N 2> 99.998％
流量	40 LPM（36.5 Kpa）至90 LPM（171 kPa）
*大吹掃壓力	207 Kpa（= 100 LPM流量）
*高氣體溫度	60攝氏度
N 2吹掃連接	世偉洛克3/8“外徑管道
電離N 2連接	世偉洛克1/2“外徑管道連接，帶1 / 4NPT內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度范圍	15至60攝氏度
信號(hào)輸出	打開/關(guān)閉觸點(diǎn)時(shí)的報(bào)警和離子減少輸出
維	長度152.4 mm x寬度72.4 mm x深度32 mm 不包括管道部分
重量	640克
外觀	不銹鋼
安裝方法	背面M5螺釘螺釘長度小于10 mm

關(guān)于擴(kuò)展的ISO Class 1,10 nm
？ION Systems為了應(yīng)對(duì)細(xì)顆粒管理而獨(dú)特定義的清潔度定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺）至少一個(gè)粒徑10nm的

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