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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
重慶直供HUGLE藤宮全自動FOUP清潔系統(tǒng)西南區(qū)客戶共享資源
重慶內(nèi)藤機(jī)械設(shè)備有限公司
重慶直供HUGLE藤宮全自動FOUP清潔系統(tǒng)西南區(qū)客戶共享資源
詳情介紹：
全自動FOUP清潔系統(tǒng)UPC - 12500 SORA
300毫米作為晶圓的FOUP的自動清洗系統(tǒng)，模型改變UPC-12100，已經(jīng)取得的經(jīng)驗和世界**的信心。現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)已得到改進(jìn)必不可少的高品質(zhì)，高通量和節(jié)能概念。它符合UL和CE標(biāo)準(zhǔn)以及SEMI標(biāo)準(zhǔn)。自動傳輸系統(tǒng)（AMHS）兼容，與GEM 300兼容的通信協(xié)議，適用于在線管理。
請務(wù)必考慮世界上***別的FOUP清潔設(shè)備。
產(chǎn)品概述
●高通量
●足跡設(shè)計
●節(jié)能
●全自動FOUP開放的交叉污染預(yù)防由
超精密用●2流體噴射清洗系統(tǒng)清洗
●高效率的干燥系統(tǒng)
●SEMI通信標(biāo)準(zhǔn)GEM300對應(yīng)
●高交付
●SEMI S2， S8，符合CE標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)范
裝置主體：2200（寬）×3250（深）×2500（高）毫米（不包括投影）
