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產品名稱：重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)成都及西南區(qū)客戶共享資源
產品型號：全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN
產品廠商：HUGLE藤宮
產品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)成都及西南區(qū)客戶共享資源重慶內藤機械設備有限公司重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統(tǒng)成都及西南區(qū)客戶共享資源

詳情介紹：

全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN

它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動清潔裝置，這是新的曝光技術。除了拆卸/重新組裝內部POD和外部POD之外，每個POD都使用單獨的專用CH進行清潔/干燥。
完全無人值守的操作也是可能的。
采用獨特的清潔/干燥技術實現(xiàn)納米級顆粒去除30年，作為半導體設備容器清潔設備制造商。

產品概述

-足跡設計
，專有清洗技術通過超精密清洗
和高效的干燥系統(tǒng)完全干燥實現(xiàn)通過
，全自動POD開放的交叉污染預防由
-RSP200兼容
機器人手自清潔系統(tǒng)內置
-獨立專用室**

規(guī)范

裝置主體：1230（寬）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）

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全自動EUV POD清潔系統(tǒng)REN

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